寶德8715型調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器是一臺(tái)用于調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量的裝置，它需要一個(gè)與介質(zhì)相分離的傳感器。在數(shù)字的電子調(diào)節(jié)設(shè)備中，會(huì)將傳感器提供的實(shí)際值與規(guī)定的額定值進(jìn)行比較；存在調(diào)節(jié)偏差時(shí)，會(huì)通過(guò)一種 PI 調(diào)節(jié)算法對(duì)發(fā)送到比例閥上的調(diào)節(jié)參數(shù)進(jìn)行修改。這樣一來(lái)，就可以將質(zhì)量流量保持在一個(gè)確定的數(shù)值上，或使其遵循規(guī)定的曲線輪廓，而不會(huì)受到壓力波動(dòng)或設(shè)備中其他變化的影響。 可針對(duì)兩種不同的氣體對(duì)型號(hào) 8715 進(jìn)行校準(zhǔn)，用戶(hù)可在兩者之間進(jìn)行轉(zhuǎn)換。一個(gè)直動(dòng)式比例閥作為調(diào)節(jié)元件，確保了高反應(yīng)靈敏度和裝置良好的調(diào)節(jié)特性。通過(guò)數(shù)字方式與更高一級(jí)的設(shè)備進(jìn)行通訊，這樣一來(lái)，就可以省去額外的 D/A 轉(zhuǎn)換。

寶德8715型調(diào)節(jié)侵蝕性氣體質(zhì)量流量調(diào)節(jié)器主要特點(diǎn)：

采用毛細(xì)管技術(shù)的旁通儀器，適合額定流量范圍 5 mlN/min 至 15 lN/min
適合侵蝕性氣體
緊湊型版本和數(shù)字通訊

技術(shù)數(shù)據(jù)：
滿(mǎn)量程范圍：5至15000毫升/分鐘2;N2當(dāng)量
控制范圍：1：50
操作氣體：中性或腐蝕性氣體
校準(zhǔn)氣體：使用轉(zhuǎn)換因子操作氣體或空氣
大操作壓力（進(jìn)口壓力）：10巴，取決于閥門(mén)的孔口
介質(zhì)溫度：-10至+ 70℃（氧氣為-10至+60℃）
環(huán)境溫度：-10至+ 50°C 3），其他要求
準(zhǔn)確度：±1.5％o.R。±0.3％F.S。（30分鐘預(yù)熱時(shí)間后）
重復(fù)性：±0.1％F.S。
建立時(shí)間：<3秒。
電源：24 V DC
電壓容差：±10％
殘余波紋：<2％
功耗：3.5-11.5 W（取決于比例閥）

基于旁路原理：
主通道中的層流元件產(chǎn)生小的壓降。這通過(guò)旁路（傳感器管）驅(qū)動(dòng)與主流成比例的小流量，兩個(gè)連接在測(cè)量橋上的加熱電阻受到不銹鋼管的影響。在零流量狀態(tài)下，橋是平衡的，但是隨著流量的增加，熱量沿流動(dòng)方向傳輸，橋變得不平衡。測(cè)量的動(dòng)態(tài)受到作為熱障的管壁的限制。通過(guò)在控制器中使用合適的軟件，可以獲得適用于各種應(yīng)用的響應(yīng)時(shí)間（在幾秒鐘的范圍內(nèi)）。對(duì)于受污染的氣體，我們建議在上游安裝過(guò)濾器元件。這樣就避免了主流和傳感管之間的分配比例的變化，以及由于傳感器管壁上的沉積而導(dǎo)致的傳熱變化。通過(guò)這些傳感器，甚至可以控制侵蝕性氣體，因?yàn)樗信c氣體接觸的主要部分都是用不銹鋼鋼。