德國寶德氣體質(zhì)量流量控制器918274
8711 型質(zhì)量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內(nèi)對氣體進(jìn)行質(zhì)量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實(shí)現(xiàn)*速度的響應(yīng)。一個(gè)直動式 Bürkert 比例閥作為執(zhí)行元件,確保了良好的響應(yīng)靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備桌越的控制特性。8711 型設(shè)備可以針對兩種不同的氣體進(jìn)行校準(zhǔn),用戶可以在兩者之間進(jìn)行切換。作為電氣接口,既提供模擬標(biāo)準(zhǔn)信號,也提供現(xiàn)場總線。8711 型質(zhì)量流量控制器適合多樣化應(yīng)用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應(yīng)堆、燃料電池技術(shù)或者試驗(yàn)臺。
標(biāo)稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min
測量精度和重復(fù)性高
調(diào)控速度特別快
選配:現(xiàn)場總線接口
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)稱流量范圍1)
(Q標(biāo)稱)
1000萬升/分鐘2)至80升
N/min(氮?dú)猓?/p>
見表2
調(diào)低比為1:50,可根據(jù)要求提高調(diào)低比
工作氣體中性,無污染氣體,
應(yīng)要求
校準(zhǔn)氣體工作氣體或具有轉(zhuǎn)換系數(shù)的空氣
大工作壓力
(入口壓力)
10巴(145磅/平方英寸)
取決于閥門的孔
氣體溫度-10…+70°C(-10…+60°C,含氧)
環(huán)境溫度-10…+50°C
準(zhǔn)確度±0.8%o.R.±0.3%F.S。
(預(yù)熱1分鐘后)
重復(fù)性±0.1%F.S。
穩(wěn)定時(shí)間(t95%)<300毫秒
材料
身體
住房
海豹
鋁或不銹鋼
PC(聚碳酸酯)或金屬
FKM、EPDM
端口連接NPT?,G?,螺紋接頭或法蘭,
其他應(yīng)要求
調(diào)節(jié)裝置
(比例閥)
閥孔板
k
VS值
常閉式
0.05…4.0毫米
0.00006…0.32立方米/小時(shí)
電氣。連接
另外,現(xiàn)場總線:
插頭D-Sub 15針
帶PROFIBUS-DP:插座M12 5針
帶CANopen:插座M12 5針
24 V直流電源
電壓公差±10%
殘余波紋<2%
大功耗3.5…14 W
(取決于使用的比例閥)
輸入信號
輸入阻抗
0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安
>20 kΩ(電壓),
<300Ω(電流)
輸出信號
大電流(電壓)
大負(fù)載(電流)
0…5伏,0…10伏,0…20毫安或4…20毫安
10毫安
600Ω
數(shù)字通信
可能通過適配器:
RS232,Modbus RTU(通過RS適配器)
RS485、RS422或USB
(見第3頁附件表)
現(xiàn)場總線選項(xiàng)PROFIBUS-DP,CANopen
防護(hù)等級IP40
尺寸[mm]見圖紙5-7
總重量約500 g(鋁體)
水平或垂直安裝
發(fā)光二極管
(默認(rèn)功能,
其他可編程功能)
電源指示,
限制(模擬信號)/通信
(帶現(xiàn)場總線)和錯(cuò)誤
二進(jìn)制輸入
(默認(rèn)功能,
其他可編程功能)
二
1啟動自動調(diào)諧
2未的
二進(jìn)制輸出
(默認(rèn)功能,
其他可編程功能)
繼電器輸出:
1限制(未達(dá)到設(shè)定值)
大負(fù)載:25V,1A,25VA
1) 標(biāo)稱流量值是可控制的 大標(biāo)定流量值。這個(gè)
額定流量范圍(可能的)定義了額定流量范圍。
2) 指數(shù)N:指1.013 bar和0°C的流量。
另外,還有一個(gè)指數(shù)S,指的是1.013巴和20°C
T
8711型質(zhì)量流量控制器(MFC)是
適用于調(diào)節(jié)氣體的質(zhì)量流量
在大流量范圍內(nèi)。熱MEMS
傳感器直接位于氣流中
因此達(dá)到非常快的響應(yīng)時(shí)間。A
Bürkert直動比例閥
保證高靈敏度。集成PI
控制器確保了MFC的桌越控制特性。
8711型可選擇校準(zhǔn)兩個(gè)
不同的氣體;用戶可以在
這兩種氣體。作為兩者的電氣接口,
模擬標(biāo)準(zhǔn)信號和現(xiàn)場總線
可用。
8711型質(zhì)量流量控制器適用于各種應(yīng)用,如燃燒器控制、加熱
處理、材料涂層、生物反應(yīng)器、燃料
細(xì)胞技術(shù)或試驗(yàn)臺。
實(shí)際流量由傳感器檢測。這是根據(jù)
一種具有提供質(zhì)量流優(yōu)勢的熱學(xué)原理
與壓力和溫度無關(guān)。
總氣體流的一小部分被轉(zhuǎn)移到
設(shè)計(jì)的旁路通道能保證層流條件。
傳感器元件是一個(gè)芯片,浸沒在該流道壁中。
該芯片采用MEMS技術(shù)生產(chǎn),包含一個(gè)加熱電阻和
對稱布置的兩個(gè)溫度傳感器(熱電堆)
加熱器的上游和下游。的差動電壓
熱電堆是通過流量傳感器的質(zhì)量流量的測量。
校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)了傳感器的為一分配
通過裝置的總流量信號。
為了正確選擇MFC內(nèi)的致動器孔,不僅
所需 大流量Qnom,也可直接取壓力值
在此流速下的MFC(p1,p2)前后Qnom應(yīng)已知。
總的來說,這些壓力與總進(jìn)口和
整個(gè)工廠的出口壓力,因?yàn)橥ǔS蓄~外的
流量電阻器(管道、附加切斷閥、噴嘴等)同時(shí)存在
控制器前后。
請使用第8頁的報(bào)價(jià)邀請函來說明
MFC前后的壓力。如果這些是未知的
或無法進(jìn)行測量,則應(yīng)通過
考慮到流量為Qnom時(shí),MFC前后流量電阻器上的近似壓降。
此外,請注明可能遇到的 大入口壓力p1 max。需要這些數(shù)據(jù)以確保致動器能夠提供
在所有操作模式下關(guān)閉緊密功能。